XRV 交叉滚柱音圈模组系列系列,包含音圈电机动定子、十字交叉滚柱导轨、光栅尺反馈系统及载台,即装即用,占用空间小适用于高刚性、高精度、高平面度及直线度的场合性能特点:模块化设计, 应用了直线音圈电机双重精密线型交叉滚柱导轨行程可达20mm模块的设计配备编码器编码器的高分辨率有0.1um, 20nm或5nm 应用领域:半导体、光学电子、食品制药、组装包装汽车生产检测、生物生化检测取样、自动化测试高速扫描,数码影像系统高效的焊接、贴片、组装、测试与检测设备光学元件的搬运与检测,各种精密而高速运动设备
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